| # | Famille | Produits | Statut | Template propose | Couv. | Responsable | Action |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | Four Points | 14 | Guide valide | {TYPE3} {OEM} {Variante} | 13/14 (93%) | MDC | +4 CYL JDL A/B/C/D conformes. Reclasser "Spare Needles" vers Probe Accessories. |
| 2 | Reflector Plates | 35 | Guide valide | {OEM} {Equip} {Composant} [{Variante}] | 33/35 (94%) | MDC | Standardiser variantes reconditionnees : supprimer " — Reconditionne Niveau 1" (info portee par QUALITE=01) · confirmer OEM "Reflector Plate 200mm XE". |
| 3 | Lapping & Coating | 43 | Deviations a corriger | {Composant} [{Spec}] [Repair I/II | Yttria] | 40/43 (93%) | MDC + AXION | Standardiser orthographe traitement Yttria (3 variantes) · ajouter Repair aux 3 produits sans suffixe · normaliser "Rep I" → "Repair I" · retirer "Full" de Repair II Full. |
| 4 | Probe tips | 11 | Guide valide | PSE-{Suffixe} | 10/11 (91%) | MDC | Verifier si 825-12-GA est un probe holder OEM — reclasser vers Probe Accessories si confirme. |
| 5 | Alignment Laser | 5 | Guide valide | {Marque} {Composant} {Modele} [{Option}] | 5/5 (100%) | MDC | Guide aligne — pas de modification. |
| 6 | Four Point Probe Semi Automated | 5 | Guide valide | {CODE_CMT} [{Option}] | 4/5 (80%) | MDC + AXION | Harmoniser "SR-2000NW 7.2 Software update" → "CMT-SR2000NW 7.2 Software Upgrade" (majuscule + prefixe CMT). |
| 7 | Calibration of Temp Match Tool | 5 | Guide valide | {Composant} for {Equip} {Modele} [{Canaux}] | 4/5 (80%) | MDC | Corriger "Control Box Repair Temp Match Tool Centura 5200" — ordre non conforme au guide. |
| 8 | Endura MCA ESC | 4 | Guide valide | Amat Endura {Type} {Composant} Repair [I/II | with/without {Spec}] | 4/4 (100%) | MDC + AXION | Refonte reussie : Repair I/II propres, plus de doublons. Proposer ce guide dans la feuille Familles. |
| 9 | Amat Polyimide ESC | 2 | Guide valide | Amat Shell Assy {Diam}mm {Spec} | 2/2 (100%) | MDC | Guide aligne — pas de modification. |
| 10 | Wafertec Pump | 2 | Guide valide | Wafertec {Modele} Dispense Pump for Resist | 2/2 (100%) | MDC | Guide aligne — pas de modification. |
| 11 | LAM | 3 | A discuter | Heterogene | — | MDC | Clarifier perimetre LAM ESC vs famille Lapping & Coating — 3 produits insuffisants pour guide fiable. |
| 12 | Mercury Probe | 11 | A discuter | 2 sous-groupes identifies | — | MDC | Proposer 2 guides distincts : Equipment (Mercury Probe {Size}) + Software/Services (CSM/Win {Option}). |
| 13 | Four Point Probe Manual & Test Units | 3 | A discuter | Incoherent avec guide Familles | 1/3 (33%) | MDC | Guide "{TYPE3} {OEM}" defini en Familles ne correspond pas aux descriptions — redefinir ou supprimer. |
| Familles sans guide — Heterogeneite trop forte ou volume insuffisant pour pattern fiable | |||||||
| 14 | Filters, Lenses, Mirrors | 18 | Doublon critique | — | — | MDC + AXION | ⚠ Corriger en priorite : MDC-SPA-31-0039-01 = MDC-SPA-31-0040-01 (meme description). Action A-06-04 toujours ouverte. |
| 15 | Calibration components | 12 | Sans guide | — | — | — | Heterogene (wafers, kits, pompes, microscopes) — pas de guide possible. |
| 16 | Cleaning | 5 | Sans guide | — | — | — | Perimetre trop large — envisager eclatement en sous-familles. |
| 17 | Others | 29 | Sans guide | — | — | — | +5 nouvelles refs (DPS Etch). Heterogene par construction — pas de guide. |
| 18 | Probe Accessories | 3 | Sans guide | — | — | — | Volume insuffisant. |
| Familles a 1 produit : Parts for Steppers and Scanners · Heat Exchangers · RTP Lamp Houses · Quiet Chuck Hot Chuck Wafer Prober — pas de guide possible. | |||||||
| Ref | Description courte | Conformite |
|---|---|---|
| MDC-SPA-37-0001-00 | CAR KLA B | ✓ Conforme |
| MDC-SPA-37-0003-00 | CAR KLA A | ✓ Conforme |
| MDC-SPA-37-0004-00 | CAR KLA H | ✓ Conforme |
| MDC-SPA-37-0005-00 | CAR KLA C | ✓ Conforme |
| MDC-SPA-37-0006-00 | CAR KLA D | ✓ Conforme |
| MDC-SPA-37-0010-00 | CYL JDL 500 | ✓ Conforme |
| MDC-SPA-37-0011-00 | CAR CDE B | ✓ Conforme |
| MDC-SPA-37-0012-00 | CAR AIT E | ✓ Conforme |
| MDC-SPA-37-0021-00 | CAR CDE A | ✓ Conforme |
| MDC-SPA-37-0039-00 | CYL JDL A | ✓ Conforme — NOUVEAU |
| MDC-SPA-37-0040-00 | CYL JDL B | ✓ Conforme — NOUVEAU |
| MDC-SPA-37-0041-00 | CYL JDL C | ✓ Conforme — NOUVEAU |
| MDC-SPA-37-0042-00 | CYL JDL D | ✓ Conforme — NOUVEAU |
| MDC-SPA-37-0002-00 | Spare Needles | ✗ Hors guide Reclasser → Probe Accessories |
{OEM} {Composant} {Variante} — confirme et elargi ici.{Composant} [{Spec}] Repair — a mettre a jour pour inclure I/II et Yttria.{CodePiece} — confirme par les donnees.{Marque} {Composant} {Modele} [{option}] — aligne.CMT-SR2000NW 7.2 Software Upgrade{Composant} for {Equip} {Modele} [{canaux}] — aligne.Temp Match Tool Control Box Repair for Centura 5200| Ref | Description courte | Conformite |
|---|---|---|
| MDC-SPA-35-0005-01 | Amat Endura LTA MCA Chuck Repair I | ✓ Conforme |
| MDC-SPA-35-0005-02 | Amat Endura LTA MCA Chuck Repair II | ✓ Conforme — NOUVEAU |
| MDC-SPA-35-0006-01 | Amat Endura MCA Heater Repair without changing bellow | ✓ Conforme (corrige) |
| MDC-SPA-35-0006-02 | Amat Endura MCA Heater Repair with changing bellow | ✓ Conforme — NOUVEAU |
Amat Shell Assy {Diam}mm {Spec} — aligne. Inchange vs v5.Wafertec {Modele} Dispense Pump for Resist — aligne. Inchange vs v5.| Ref | Description courte |
|---|---|
| MDC-SPA-33-0006-01 | LAM ESC 8" Repair -PK2-EHPT-008 oxyde |
| MDC-SPA-33-0007-01 | LAM Assy Cap Electrode ESC 96PTX Cleaning |
| MDC-SPA-33-0031-01 | Chuck ESC 2300 Flex |
Three Function Mercury Probe {Diametre}{TYPE3} {OEM} {Variante} (identique a Four Points). Or les descriptions actuelles ne suivent pas ce pattern : "Multi-height Probe", "Resistivity Test Unit RM3000+", "Four Point Universal Probe" — aucune ne commence par un TYPE3.| Priorite | Action | Famille | Responsable |
|---|---|---|---|
| Critique | Corriger le doublon : MDC-SPA-31-0040-01 a la meme description que MDC-SPA-31-0039-01 ("Hamamatsu UV Light Repair I") | Filters, Lenses, Mirrors | Cristina |
| Critique | Standardiser l'orthographe du traitement Yttria : remplacer "Yttrium" et "Ittria" par "Yttria" (Y₂O₃) sur tous les produits Lapping & Coating | Lapping & Coating | Cristina + AXION |
| Haute | Ajouter le suffixe Repair I aux 3 produits sans process : "Liner Chamber VAT 65", "Dome Ceramic DPS Chamber", "Dome Ceramic Plus Yttria" | Lapping & Coating | Cristina |
| Haute | Remplacer "Rep I/II" par "Repair I/II" sur Chamber Upper Liner Cool Etch 300mm (2 refs) · Retirer "Full" de "DPS Metal Upper Chamber Y203 Repair II Full" | Lapping & Coating | Cristina |
| Haute | Retirer le suffixe " — Reconditionne Niveau 1" des descriptions des variantes reconditionnees Reflector Plates (MDC-SPA-34-0027-01 et MDC-SPA-34-0028-01) | Reflector Plates | Cristina |
| Normale | Reclasser "Spare Needles" (MDC-SPA-37-0002-00) de Four Points vers Probe Accessories | Four Points | Cristina |
| Normale | Harmoniser "SR-2000NW 7.2 Software update" → "CMT-SR2000NW 7.2 Software Upgrade" | Four Point Probe Semi Automated | Cristina |
| Normale | Corriger l'ordre de "Control Box Repair Temp Match Tool Centura 5200" → "Temp Match Tool Control Box Repair for Centura 5200" | Calibration of Temp Match Tool | Cristina |
| Backlog | Formaliser le guide Endura MCA ESC dans la feuille Familles · Formaliser le guide Four Point Probe Semi Automated | Endura MCA ESC / 4PP Semi | AXION |
| Backlog | Clarifier la famille LAM (fusion Lapping & Coating ?) · Definir 2 guides Mercury Probe (Equipment / Software+Services) · Redefinir ou supprimer le guide Four Point Probe Manual | LAM / Mercury / 4PP Manual | Pina + AXION |